頂立科技立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅） 

技術(shù)特征

采用先進的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍小；

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 

對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理；

采用最新設(shè)計防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低。

立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）配置選擇

爐門：絲杠升降/液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊  

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC   

加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產(chǎn) 

熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/B分度號  

記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產(chǎn)

[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]