臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）技術(shù)特征

可根據(jù)客戶需求設(shè)計尺寸，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；

采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理。

臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	800×800×1200	1000×1000×1500	1200×1200×2500	1500×1500×3000
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10
極限真空度（Pa）	50	50	50	50	50
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

臥式化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）配置選擇

爐門：鉸鏈回轉(zhuǎn)式/臺車平移式；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊      

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC   

加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計；手動閥/自動閥；進口/國產(chǎn)    

真空泵和真空計：進口/國產(chǎn) 

人機界面：模擬屏/觸摸屏/工控機     

PLC：歐姆龍/西門子

控溫儀表：日本島電/英國歐陸   

熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號

記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進口/國產(chǎn)   

電器元件：正泰/施耐德/西門子

料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車

[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]