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外延石英鐘罩清洗機(jī) 

概述:外延石英鐘罩清洗機(jī) 適用于LPE外延爐PE2061(S)、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗;適用于半導(dǎo)體材料行業(yè);手動(dòng)、自動(dòng)控制模式; 適用對(duì)象參數(shù)為

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2025-09-10 10:06:52 點(diǎn)擊1159次
服務(wù)區(qū)域:
北京/大興/北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)
聯(lián)系電話:
13911568117 王經(jīng)理
QQ:
190888756
信用:4.0  隱性收費(fèi):4.0
描述:4.0  產(chǎn)品質(zhì)量:4.0
物流:4.0  服務(wù)態(tài)度:4.0
默認(rèn)4分 我要打分
外延石英鐘罩清洗機(jī)
適用于LPE外延爐PE2061(S)、PE3061、ASM E2000、AMAT CENTURA200、MOORE77**/78**五種爐子的石英鐘罩及石英件的清洗;適用于半導(dǎo)體材料行業(yè);手動(dòng)、自動(dòng)控制模式;
適用對(duì)象參數(shù)為9010mm*1170mm的1 件/ Batch;471mm*155mm數(shù)量1 件/ Batch;1200mm* Φ417mm數(shù)量1 件/ Batch;900mm石英件數(shù)量1 件/ Batch;機(jī)臺(tái)封面為聚丙烯磁白PP板材(厚度≧10mm);整體骨架表面噴涂處理 ;機(jī)臺(tái)視窗為透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度≧5mm)   ;配有蝕刻液恒溫系統(tǒng)、 蝕刻液循環(huán)過濾系統(tǒng)、 二流體噴淋系統(tǒng)(CGB專利技術(shù))、 全自動(dòng)烘干系統(tǒng); 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理; 全程自動(dòng)控制,工藝生產(chǎn)過程中不用人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性; 采用CGB專利技術(shù),鐘罩靜止等待,通過二流體及噴淋助力裝置完成均勻蝕刻清洗;全自動(dòng)烘干系統(tǒng);多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲(chǔ);作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合,保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全; 客制化設(shè)計(jì)能力佳,高設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要;制程控制為PLC控制方式;全圖形化中文彩色人機(jī)界面(10.4彩屏);設(shè)備制造北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB)13911568117;
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