13.56MHz自動匹配器 

產品性能

匹配器系統采用高速匹配算法，當接近匹配點時，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統的速度，即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調整為50Ω，調整的準確性和可靠性可以很快的響應負載特性變化。

應用對象

該自動匹配器主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。