13.56MHz射頻電源(大功率)
概述: 產品性能 該電源輸出功率可達2500W到5000W ,頻 率13.56MHz,標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用
產品性能
該電源輸出功率可達2500W到5000W ,頻 率13.56MHz,標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示:設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數,同時還可以顯示匹配器的運行參數并且通過電源面板可操作射頻匹配器。
應用對象
該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源,該系統可應用于半導體工業。應用對象包括:刻蝕、RIE、平行板、ICP、磁控濺射、CVD、PVD、等離子清洗和PECVD等系統。


- gmpower發布的信息
- 13.56MHz自動匹配器
- 匹配器系統采用高速匹配算法,當接近匹配點時,這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統的速度,即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調整為50Ω,調整的準確性和可靠性可以很快的...
- 2MHz射頻電源
- 該射頻電源采用E類放大器,實現效率高、高可靠性。大的冗余設計,使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網絡,實現波形的純凈。諧波性能優越,可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示:設定功率、入...
- 13.56MHz射頻電源(通用型)
- 應用于等離子體真空系統,具有高可靠性的電源...
開關電源/插座插頭重發信息
- 供應環衛32點智能分布式IO(PLC)SPC-SDIO-0032A 碩博電子
- 噴漆高壓靜電發生器 YH120KV水性噴漆高壓發生器
- 西門康IGBT模塊5STP03X6500 5STP50Q1800 5STP27H1800 5STP12
- 北京電源端子傳導發射檢測報告北京測試機構
- 茶果脫殼機 新一代油茶山果剝殼機 青茶籽剝殼機設備 日產10噸
- 迎澤大街專業電工上門維修24小時服務
- 供應山東久隆JL-1500W超聲波花邊機
- 特價供應現貨MSM電磁閥
- 營口市三角形交通標志支持定制 太陽能合流標志牌價格
- ROTOCLEAR旋轉視窗安裝方便 維護簡易
- 定制大忠電子磁環電感加工插件電感環形繞線廠家高頻錳鋅磁環線圈
- 上海黃浦電腦回收上海黃浦二手電腦回收上海黃浦舊電腦回收
- 農業水價綜合改革信息化管理平臺
- 電動V型調節球閥
- 沈陽ups電池回收沈陽廢舊ups電源電瓶回收


