青島福潤德牌frd-105高純砷提純設備
概述:青島福潤德微電子生產的高純材料提純設備主要滿足高純砷等新材料制造行業,對材料進行氣氛保護下的燒結、升華、還原、精餾等工藝。 歡迎廣大客戶朋友前來洽談業務。
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高純材料提純設備主要滿足高純砷等新材料制造行業,對材料進行氣氛保護下的燒結、升華、還原、精餾等工藝。
主要性能指標:
u外型形式:臥式結構,水平爐管
u工作溫度:200℃—1100℃
u恒溫區長度:根據工藝要求
u儀表控溫精度:千分之三高精度
u可通工藝氣體:氮氣、氧氣、氫氣、氬氣等
u氣體控制方式:MFC或浮子流量計控制
u報警系統:氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
u控制方式:程序控制或工控機+觸摸屏控制
產品特點:
u采用國內獨有的開合式設計方式;
u工藝降溫速度快;
u生產效率高;
u設備維護簡便
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