供應(yīng)青島福潤德牌LED專用擴散爐 

概述:LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè),對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。
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LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè),對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。

特點:

★關(guān)鍵件全部采用進口件,具有高可靠性。

★具有可編程的升、降溫功能。

★具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。

★可存儲九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。

★曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。

★具有高抗干擾能力。

★具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置。

★可為您提供斜滾式推拉舟系統(tǒng),石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù):

★可配工藝管數(shù)量:1~4管/臺;        ★工作溫度范圍:400~1300℃;

★恒溫區(qū)長度及精度:300~1000mm    600~1280℃±0.5℃;

★單點溫度穩(wěn)定性:600~1280℃±0.5℃/24h;     ★最大可控升溫速度:15℃/min

★最大降溫速度:5℃/min

供應(yīng)青島福潤德牌LED專用擴散爐
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