3噸超純水設(shè)備是專為對水質(zhì)純度有極高要求的行業(yè)設(shè)計的水處理系統(tǒng)，每小時可穩(wěn)定產(chǎn)出3噸電阻率≥18.2MΩ・cm@25℃的超純水，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密電子、高端實驗室等領(lǐng)域。設(shè)備采用“預(yù)處理+雙級RO反滲透+EDI深度除鹽+終端超純化”的全流程工藝，在5噸工業(yè)純化水設(shè)備基礎(chǔ)上優(yōu)化精度控制，實現(xiàn)對水中離子、微粒、有機物的深度去除，滿足超高標準用水需求。
一、核心工藝架構(gòu)與精度優(yōu)化
（一）預(yù)處理系統(tǒng)：低污染預(yù)處理
多介質(zhì)過濾單元：采用φ800mm316L不銹鋼濾罐（單罐），內(nèi)裝1000mm厚級配濾料（下層4-6mm石英砂+中層2-4mm無煙煤+上層1-2mm錳砂），運行流速15m/h，濁度去除率≥99%，將原水濁度降至≤0.1NTU。反沖洗采用“氣水聯(lián)合+脈沖沖洗”模式（氣洗強度12L/(m²・s)，水洗強度18L/(m²・s)），較5噸設(shè)備節(jié)水10%，避免沖洗殘留污染。
復(fù)合凈化單元：串聯(lián)φ600mm活性炭濾罐（椰殼炭，碘值≥1200mg/g）與φ600mm軟化罐（001×7MB核級陽離子樹脂），活性炭單元余氯去除率≥99.9%（出口余氯≤0.01mg/L），軟化單元將原水硬度（以CaCO₃計）降至≤0.01mmol/L，為后續(xù)RO系統(tǒng)提供更優(yōu)質(zhì)進水。
精密保安過濾：采用40英寸雙聯(lián)過濾器（316L不銹鋼），內(nèi)置0.22μm聚醚砜（PES）折疊濾芯（6支/聯(lián)），對≥0.22μm顆粒截留率，確保進入RO系統(tǒng)的顆粒污染物≤0.05mg/L，濾芯可進行完整性測試（氣泡點≥0.22MPa）。
（二）雙級反滲透系統(tǒng)：高精度脫鹽
一級RO單元：配置6支8040型抗污染反滲透膜（3支串聯(lián)×2組并聯(lián)），單支膜面積400ft²，設(shè)計脫鹽率。運行壓力1.5±0.1MPa，配備精密恒溫裝置（水溫控制在25±0.5℃），產(chǎn)水量5.2m³/h。濃水側(cè)安裝能量回收裝置，噸水電耗降至1.1kW・h。
二級RO單元：采用3支8040型超低污染膜（串聯(lián)運行），產(chǎn)水量3.3m³/h。二級產(chǎn)水電導(dǎo)率≤0.5μS/cm，通過在線電導(dǎo)率儀（精度±0.01μS/cm）實時監(jiān)控，超標時自動啟動循環(huán)凈化程序。
（三）深度除鹽與超純化系統(tǒng)
EDI深度除鹽：采用2臺EDI模塊（IONPUREIP-LX45，并聯(lián)運行），總產(chǎn)水3噸/小時，在直流電場（400-600V）作用下，將二級RO產(chǎn)水進一步純化至電阻率≥17MΩ・cm@25℃。EDI濃水（約0.6m³/h）回流至一級RO進水端，系統(tǒng)整體水利用率提升。
終端超純化：EDI產(chǎn)水進入拋光混床（φ400mm316L不銹鋼罐），內(nèi)裝1:1比例的核級陽陰樹脂（UP6150），進一步去除殘余離子，使產(chǎn)水電阻率穩(wěn)定≥18.2MΩ・cm@25℃。隨后經(jīng)0.1μmPTFE終端過濾器，確保微粒（≥0.1μm）≤1個/ml，滿足超純水標準。
（四）智能控制系統(tǒng)
高精度控制中樞：采用西門子S7-1500PLC，12英寸彩色觸摸屏實時顯示3噸/小時產(chǎn)水量、各段壓力、電阻率、TOC等32項參數(shù)，支持歷史數(shù)據(jù)追溯（存儲≥3年）與遠程控制（4G+以太網(wǎng)），可接入工廠MES系統(tǒng)。
微污染預(yù)警系統(tǒng)：配備在線TOC分析儀（檢測限1ppb）、激光微粒計數(shù)器（0.1-10μm），每30分鐘記錄一次數(shù)據(jù)，當參數(shù)接近預(yù)警值時提前2小時發(fā)出警報，便于及時處理。

 保持穩(wěn)定運行能力

超純保障體系：
材質(zhì)超純要求：與水接觸部件100%采用316L不銹鋼（電解拋光Ra≤0.4μm）或PTFE、PP等低溶出材料，所有管道焊接采用自動軌道焊接，內(nèi)壁焊縫Ra≤0.8μm，避免污染。
防二次污染設(shè)計：產(chǎn)水管道采用316L不銹鋼，坡度≥1%，確保排水徹底，無積水點；閥門采用隔膜閥（無死角），避免傳統(tǒng)閥門的腔體內(nèi)殘留。
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