工業制氧設備的工藝流程 

空氣經空壓機壓縮后，經過除塵、除油、干燥后，進入空氣儲罐，經過空氣進氣閥、左進氣閥進入左吸附塔，塔壓力升高，壓縮空氣中的氮分子被沸石分子篩吸附，未吸附的氧氣穿過吸附床，經過左產氣閥、氧氣產氣閥進入氧氣儲罐，這個過程稱之為左吸，持續時間為幾十秒。左吸過程結束后，左吸附塔與右吸附塔通過均壓閥連通，使兩塔壓力達到均衡，這個過程稱之為均壓，持續時間為3~5秒。均壓結束后，壓縮空氣經過空氣進氣閥、右進氣閥進入右吸附塔，壓縮空氣中的氮分子被沸石分子篩吸附，富集的氧氣經過右產氣閥、氧氣產氣閥進入氧氣儲罐，這個過程稱之為右吸，持續時間為幾十秒。同時左吸附塔中沸石分子篩吸附的氧氣通過左排氣閥降壓釋放回大氣當中，此過程稱之為解吸。反之左塔吸附時右塔同時也在解吸。為使分子篩中降壓釋放出的氮氣完全排放到大氣中，氧氣通過一個常開的反吹閥吹掃正在解吸的吸附塔，把塔內的氮氣吹出吸附塔。這個過程稱之為反吹，它與解吸是同時進行的。右吸結束后，進入均壓過程，再切換到左吸過程，一直循進行下去，從而連續產出高純度的產品氧氣。

制氧機的工作流程是由可編程控制器控制五個二位五通先導電磁閥，再由電磁閥分別控制十個氣動管道閥的開、閉來完成的。五個二位五通先導電磁閥分別控制左吸、均壓、右吸狀態。左吸、均壓、右吸的時間流程已經存儲在可編程控制器中，在斷電狀態下，五個二位五通先導電磁閥的先導氣都接通氣動管道閥的關閉口。當流程處于左吸狀態時，控制左吸的電磁閥通電，先導氣接通左吸進氣閥、左吸產氣閥、右排氣閥開啟口，使得這三個閥門打開，完成左吸過程，同時右吸附塔解吸。當流程處于均壓狀態時，控制均壓的電磁閥通電，其它閥關閉；先導氣接通均壓閥開啟口，使得這閥門打開，完成均壓過程。當流程處于右吸狀態時，控制右吸的電磁閥通電，先導氣接通右吸進氣閥、右吸產氣閥、左排氣閥開啟口，使得這三個閥門打開，完成右吸過程，同時左吸附塔解吸。每段流程中，除應該打開的閥門外，其它閥門都應處于關閉狀態。