產品特點：

質量流量，時域傳感技術

全量程（0-2）SLPM-(0-1500)SLPM

全量程優良的重復性

可測量多種氣體不需要修正

多種輸出信號可選

支持多種連接方式，易于安裝與使用

工作原理

MF3000系列氣體質量流量計是基于銘鴻儀表公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。

該流量的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩定的溫度場分布。MEMS芯片上溫度傳感器將測量到具體的溫度變化并轉換為電信號，經放大、調理和線性化處理后，通過LED顯示或模擬、數字信號輸出。由于不同種類的氣體對微熱源周邊形成穩定的溫度場分布所產生的溫度變化不同，所以能測量氣體的質量流量。

技術參數：

流量范圍：2、5、10、20、50、100、200、500、1000、1500 SLPM

量程比：50：1

精度：±（2.5+0.5FS）%

重復性：1.0%

零點穩定度：±30MV

輸出漂移：±0.12%/℃

響應時間10MS

工作電源：8-24VDC,50MA

信號輸出1：RS485或I²C

信號輸出2/3：模擬電流4-20mA/模擬電壓：1-5VDC/NPN/PNP

顯示方式：4位4段LED數碼管，2個指示燈

顯示單位：瞬時流量：SLPM;累積流量：SL或Nm³

顯示分辨率：瞬時流量：0.01SLPM,累積流量：0.1SL或0.01Nm³

工作壓力：0.8MPa

工作溫度：-10～+55℃

儲存溫度：-20～+65℃

工作濕度：<95%RH（無結冰、無凝露）

機械接口：BSRT1/4外螺紋  4、6、8MM快速接頭  或8mmL型接頭  BSPT1/2內螺紋

按鍵：三個按鍵

校準方式：空氣（20℃，101.32kPa）

電氣接品：6針插座，廣瀨：DF51K-6P-2DS

符合性：RoHS,REACH

備注：1.為了流量計的測量精度，使用前需要預熱一分鐘

2. 傳感器默認為空氣校準，測量 其它氣體時，精度會有所下隆

3. 默認響應時間這10MS可通過修改濾波調慢響應時間。

4. 以上參數在為20℃101.325kPa下測得。

輸出引線定義：

1、紅色：信號輸出3：NPN/PNP

2、灰色：信號輸出2：模擬電流4-20mA/模擬電壓1-5VDC/PNP/NPN

3、藍色:GND 電源/信號地（-）

4、棕色：VCC電源正8-24VDC（+）

5、黑色：RS485A(+)I²C時鐘線（SCL）

6、白色：RS485B(-）I²C數據線(SDA）

流量計的電氣接口為DF51K-6P-2DS（廣瀨），出廠時帶一型號為DF51K6-100的配線，長度 為100CM，一端為插頭DF51K-6S-2C(與DF51K-6P-2DS配套連接)另一端散口。