FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

概述：產(chǎn)品簡(jiǎn)介： FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔
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流量傳感器

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13751853853 陳銳葵

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描述：4.0 產(chǎn)品質(zhì)量：4.0

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點(diǎn)：傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳感器的高精度計(jì)量在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性低功耗低壓損響應(yīng)時(shí)間快
主要參數(shù)：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
最大流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重復(fù)性	0.25		%讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
最大流量壓損	350	300	pa
最大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）
機(jī)械接口	可拆式軟管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

機(jī)械尺寸：

姓名：陳先生

電話(huà)：15119557501

QQ：2511301958

廣州迪川科技有限公司

地址：廣州番禺區(qū)石基鎮(zhèn)前峰南路31號(hào)3樓

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