工作原理：

    在使用油擴散泵、分子泵抽真空的過程中，空間中80%以上的殘余氣體是水蒸氣、油蒸氣以及一些高沸點的蒸汽，這類殘余氣體在高真空狀態下，抽取難度大、速度慢，而且殘余氣體的存在不僅會影響真空度也會污染生產實驗工件，深冷機可有效解決這類問題, 在真空度 10^-2 至 10^-8 pa 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣，提高真空度、提高產品品質，加快抽速提高生產效率。

在真空室中或油擴散泵的泵口，放置一個能迅速達到-120℃以下的制冷裝置（盤管或冷阱），通過其表面的深低溫冷凝能力，迅速將真空腔體內的殘余氣體附著，從而大大縮短抽真空的時間（可縮短50-80%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可提高半個數量級，達到10^-8 Torr、10^-5 Pa)。