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IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器

德國attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎上，ZX推出了體積更小、適合集成到工業產品與同步輻射應用中的IDS型號皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號干涉儀相似，IDS型號同樣適用于極端環境如高真空與高輻射環境并且具有極高精度與極高采樣速率。IDS產品是適合工業集成與工業網絡無縫連接的理想產品。產品在工業應用中具有廣泛范圍前景，包括閉環位移反饋系統搭建、振動測量、軸承誤差測量，實時位移測量等。 

 德國國家計量院（PTB）對IDS3010激光干涉儀的精度進行了認證。值得指出，在0-3米的工作距離內， IDS激光干涉儀的的測量數據與德國計量院激光干涉儀數據完全一致。德國計量院的認證使得IDS激光干涉儀的測量數據滿足德國國家標準，使得IDS更加理想的成為位移臺鑒定與機器加工等領域的測量工具。

IDS3010激光干涉儀產品特點 

+  設計緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業集成

+  工業化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+  測量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

+  環境補償單元，不同濕度、壓力環境中校正反射率參數提高測量精度

+  校正簡單，配備可見激光（650nm）用于校正測量激光（1530nm）

+  測量精度高，探測器分辨率高達1 pm

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器=精密制造

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器=精密測量

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器=質量保證

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器——超高精度非接觸式軸誤差測量

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器——激光干涉測量

IDS3010皮米精度激光干涉儀/激光位移傳感器——納米平移臺質量控制方案

IDS3010皮米精度激光干涉儀激光位移傳感器——主軸轉動誤差控制