脈沖電源 選購指南
多級(jí)脈沖電源
該射頻電源采用3U半機(jī)箱設(shè)計(jì)，整機(jī)功率密度高。支持連續(xù)波、脈沖、多級(jí)脈沖的工作模式。可自定義配置脈沖信號(hào)，響應(yīng)速度快，信號(hào)質(zhì)量高。支持高速、高精度的調(diào)頻功能。 應(yīng)用特征 該電源主要應(yīng)用對(duì)象包括：刻蝕、ICP、 PECVD。 ......
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