可靠性

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13.56MHz射頻電源（通用型）

應用于等離子體真空系統，具有高可靠性的電源

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該射頻電源采用E類放大器，實現效率高、高可靠性。大的冗余設計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網絡，實現波形的純凈。諧波性能優越，可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設定功率、入

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匹配器系統采用高速匹配算法，當接近匹配點時，這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統的速度，即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調整為50Ω，調整的準確性和可靠性可以很快的

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產品特點 1.電源寄存能量低，內置電流限制和保護電路設計使設備免受浪涌和電弧的損害。 2.通過輸出極性轉換，降低了夾盤上電荷的風險。 3.短路和開路設計增加了設備的可靠性。

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使用編碼器無刷電機蝸輪蝸桿技術，超靜音運行令您使用更完美，更方便； ·多功能的接口，全功能的遙控技術更具有雙門互鎖、位置反饋等功能可調； ·卓越的可靠性，經久耐用。

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為它是ABNT編制的技術標準之一，其中描述了NR12的基本點。在整個內容中了解更多！ 1- 什么是NBR 14153？ NBR14153的主要目標是在將安裝在特定機器上的電氣控制系統中建立可靠性水平

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